產品名稱:三硅化五鈦(Ti5Si3)
規格:0.8-10um(D50)
形貌:不規則
顏色:黑灰色
特點:高熔點、低密度、良好的高溫穩定性、抗氧化性
用途:光學涂層
名稱:三硅化五鈦
分子式:Ti5si3
Cas:12067-57-1
外觀:灰黑色
熔點:2130℃
沸點:2130℃
密度:4.39g/cm3
分子量:323.59
用途:硅化鈦被廣泛應用于金屬氧化物半導體(MOS),金屬氧化物半導體場效應晶體管(MOSFET)和動態隨機存儲器(DRAM)的門、源/漏極、互聯和歐姆接觸的制造當中。
三硅化五鈦的性能與使用:
Ti5Si3具有熔點高(2130℃)、密度低(4.65g/cm3)及優異的高溫性能如高的高溫硬度、良好的高溫穩定性、抗氧化性,能有希望用于1300℃以上的高溫結構材料。Ti5Si3的熔點與高溫結構陶瓷相接近甚至更高,但其密度卻遠低于一些高溫結構陶瓷與高溫合金,與鈦合金相當,具備了在高溫下使用的潛力。另外,由于其電阻和熱阻均較低,Ti5Si3也有希望用于電氣連接結構和擴散阻擋層。